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Gasket
Gasket
VCR 접속에 사용 되는 GASKET형태로서 VCR 내에 삽입되므로 gas system의 배관을 절약 할수 있으며 레귤레이터와 MFC 등 particle로 부터 주요 Parts를 보호 할 수 있음
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Defender
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Sentry
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Utility Line and Bulk
Utility Line and Bulk
Utility :
반도체 Utility line의 High flow & High temperature 사용에 적합하도록 만든 제품으로 고온 고압에 취약한 Teflon 보다 우수한 성능을 갖춤
Bulk :
특허 받은 Nickel porous metal media를 사용해서 high flow and low differential pressure 및 leak 가 발생하지 않음
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IGS
IGS
Integrated Gas System assembly에 특화 제품으로 High precision, high flow 1.125&1.5" C-Seal, W-seal 용 porous metal media 제품
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Hastelloy
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Nickel
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SUS
SUS
Ultra High purity applications 에 적용 가능한 최적의 Filtration efficiency 성능을 갖춘 316L stainless steel porous metal media
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